HDH-100真空等离子清洗机适用于批量生产及科学研究，广泛应用于芯片、摄像头模组、P0、FP0、晶元等产品表面处理，有效去除表面油性污垢和有机污染物粒子，提高表面粘接，涂覆
的可靠性和持久性，提升封装稳定性。
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基本参数 |
真空等离子设备HDH-100 |
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外形尺寸 |
900*900*1600（W*D*H） |
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重量 |
150KG |
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射频电源 |
功率:0~600W 频率：13.56MHz |
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中频电源 |
功率:0~1000W 频率：40KHz |
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流量范围 |
0~300SCCM |
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工艺气体气路 |
标配两路，可定制 |
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系统控制 |
PLC |
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双级旋片泵（油泵） |
40m³/h |
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真空管路 |
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
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材质 |
铝合金（可定制不锈钢腔体） |
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厚度 |
25mm |
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腔体内部尺寸 |
375×375×430mm（宽×高×深） |
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电极板有效尺寸 |
345×344mm（宽×深） |
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可用空间间距 |
22.5mm |
